Manipulator


Riber32のManipulator。横差しで基板ヒーターは2 inch or 3 inchになります。横差しManipulatorは、Flux monitorをHeater横に設置できるので大変便利です。90年代以降のMBEのManipulatorは縦差しが多いですが、理由は基板ヒーターの温度を高める要望が増えた(窒化物など)ためです。縦差しManipulatorは基板回転のベアリングと基板ヒーターを離すことができ、ベアリングの寿命を延ばすことができます。