LN2を購入する予算がなさそうなので、セルシュラウドに水、マニピュレータシュラウドにはエタノール(-30℃)を…

いまだにPaより、Torrの方が理解しやすい・・・　Transfer Chamberが6 x 10-11 To…

3月に引越して、床に電線を引き、排気系、シャッター系、冷却系を整備し、シュラウドBaking、ルツボBakin…

ベンチバイスを購入しました。ボール盤もありますので、アルミ、SUSの加工ができます。SUSは304、316L、…

Seチャンバーは、140℃程度のベーキングで済ませます。170℃以上にするとCuガスケットがSeと反応して、リ…

Main chamberとPreparation chamberをそれぞれ水平にして、少しずつスライドさせます…

Riber32のManipulator。横差しで基板ヒーターは2 inch or 3 inchになります。横差…

Riber32 成膜チャンバーのメインフランジと、Compact 21 (C21)のメインフランジは同じサイズ…

産総研より早稲田大学63号館609室にRiber32を運びました。この写真（2026年4月撮影）は成膜チャンバ…

2026年度より開設された研究室です。化合物半導体の研究を行っています。多元系化合物の結晶成長と、物性評価や回…