Ga濃度とIn濃度の比率はこちらの式で計算できます。V族、III族比もこちらで計算できます。装置によってFluxゲージの計測値は異なりますので、RHEED振動からGa供給量を決めて、相対的に計算します。Cuの濃度はこの式からずれるので（理由は不明）、成膜試料のCu濃度から、補正項を求めて、計算します。