Riber32 成膜チャンバーのメインフランジと、Compact 21 (C21)のメインフランジは同じサイズ(450 mm ID)です。32はセル周囲とマニピュレータ周囲の2つのShroudになります。

C21のShroudは1つです。部屋に高さがないと取り外せません。