Riber32のManipulator。横差しで基板ヒーターは2 inch or 3 inchになります。横差…
*早稲田大学先進理工学部電気・情報生命工学科 研究室配属対象者向けのイベントです。 日程・詳細 開催期間：9月…
Riber32 成膜チャンバーのメインフランジと、Compact 21 (C21)のメインフランジは同じサイズ…
産総研より早稲田大学63号館609室にRiber32を運びました。この写真（2026年4月撮影）は成膜チャンバ…
2026年度より開設された研究室です。化合物半導体の研究を行っています。多元系化合物の結晶成長と、物性評価や回…
